半導(dǎo)體石墨模具的發(fā)展進(jìn)化史

半導(dǎo)體石墨模具的發(fā)展進(jìn)化史

有可靠的脫模方法，保證壓坯能合理地從陰模中脫出，不能有裂紋。對(duì)于大批量自動(dòng)化生產(chǎn)的產(chǎn)品，需要選擇合適的模架。零件的連接要安全牢固，安裝拆卸要方便，結(jié)構(gòu)盡量簡(jiǎn)單。成型(鋼模)是粉末冶金中廣泛使用的成型方法。

在18世紀(jì)下半葉和19世紀(jì)上半葉，西班牙和英國(guó)使用類似的粉末冶金工藝來(lái)制造鉑產(chǎn)品。當(dāng)時(shí)Sobolevski (пгсоболевсий)使用的是鋼模和螺旋壓力機(jī)。英國(guó)W.H.Wollaston利用高壓拉桿壓力機(jī)和高純度鉑粉，制造出幾乎沒(méi)有殘留氣孔的精細(xì)鉑金材料。

后來(lái)逐漸改進(jìn)了成型方法，用于制作各種形狀的銅基油潤(rùn)滑軸承等產(chǎn)品。自20世紀(jì)30年代以來(lái)，在粉末冶金零件的工業(yè)化生產(chǎn)過(guò)程中，壓制設(shè)備、半導(dǎo)體封裝石墨模具設(shè)計(jì)等方面不斷改進(jìn)，模壓方法有了很大發(fā)展，機(jī)械化和自動(dòng)化達(dá)到了很高的水平。

為了擴(kuò)大產(chǎn)品的尺寸和形狀范圍，特別是提高產(chǎn)品的密度和均勻性，各種成形方法被提出和發(fā)展。早期有粉末軋制、冷等靜壓、擠壓、熱壓等。自20世紀(jì)50年代以來(lái)，出現(xiàn)了熱等靜壓、熱擠壓、熱鍛等熱成形方法。這些方法促進(jìn)了所有精細(xì)和粉末金屬材料的生產(chǎn)。

粉末半導(dǎo)體封裝石墨模具及其成型方法屬于粉末冶金領(lǐng)域，它解決了現(xiàn)有粉末成型技術(shù)的毛坯和產(chǎn)品疏松、多孔、微觀不均勻等問(wèn)題。本發(fā)明的半導(dǎo)體封裝石墨模具包括外模和石墨套管；石墨套設(shè)置在外模的中間空腔內(nèi)，石墨套的外壁貼合在外模的內(nèi)壁上；

石墨套的兩端分別設(shè)有密封帽；在石墨套管中，兩個(gè)密封帽之間形成樣品室；本發(fā)明的方法包括粉末樣品制備和封裝、半導(dǎo)體封裝石墨模具器件、循環(huán)壓力成型等過(guò)程；本發(fā)明可以強(qiáng)化粉末成分的擴(kuò)散和反應(yīng)，促進(jìn)成分和組織的均勻化和細(xì)化，可以獲得高細(xì)密度的產(chǎn)品和坯料；還要充分利用和挖掘現(xiàn)有疲勞試驗(yàn)機(jī)的潛力和特點(diǎn)。