晶圓封裝石墨模具的抗氧化保護處理
作者：jcshimo
發(fā)布時間：2021-09-14 13:57:35
晶圓封裝石墨模具抗氧化劑簡介：
晶圓封裝石墨模具抗氧化劑是用納米陶瓷經(jīng)過特殊的工藝處理在水性溶液中穩(wěn)定分散而形成的一種溶液。溶液滲入到晶圓封裝石墨模具的肌體后可以在石墨肌體的孔隙以及表面固化成膜，在低溫?zé)Y(jié)后皮膜更加致密并且硬度提高。在晶圓封裝石墨模具450℃~800℃甚至更高1000℃的工作環(huán)境中亦能保持優(yōu)良的穩(wěn)定性和涂層的致密性。
正是致密涂層的形成，有效的阻止了空氣中氧氣與石墨、即C發(fā)生氧化反映生成二氧化碳。從而有效減緩晶圓封裝石墨模具的高溫氧化消耗，延長晶圓封裝石墨模具的使用次數(shù)。
產(chǎn)品特性
1. 采用高純度納米粒子，所形成的皮膜在0.1微米左右，不影響晶圓封裝石墨模具的精度；
2. 原材為納米級的陶瓷體，不會在高溫中產(chǎn)生有害氣體的污染物。
3. 抗氧化效果非常好。
4. 滲透性優(yōu)越，可以采用向晶圓封裝石墨模具表面噴霧的方式處理，用法簡便。
產(chǎn)品用途：
1晶圓封裝石墨模具抗氧化保護，金剛石燒結(jié)晶圓封裝石墨模具抗氧化處理，石英坩堝成型用晶圓封裝石墨模具抗氧化處理，其他晶圓封裝石墨模具的抗氧化保護處理。